CCZK-SFL連続マグネトロンめっきライン

フィーチャーの説明：

馳誠公司CCZK-SFLシリーズマグネトロンスパッタリング膜のパイプラインはカーテンウォールガラス、アルミニウムミラー、ミラー生産に適用でき、回転陰極、平面陰極マグネトロンスパッタリングターゲットを搭載する。大きな平板ガラス上に特殊な金属または金属酸化物、金属窒化物薄膜、金属単体膜、複合膜、Low-E放射膜を1 ~多層めっきすることもでき、小さな湾曲したアークガラス上にめっきすることもできる。めっきラインの生産量が高く、毎年200万平方メートル以上のめっきができ、多室伝動、十分に膜層の均一性、物理性を保証する。

技術構成

CCZK-SFL連続マグネトロンめっきライン

キャビティ構造：高効率の横型連続マグネトロンめっき膜パイプラインを採用し、前後粗抽気室、前後過渡室、前後精抽気室、前後緩衝室、カラーめっき室を備える。

ターゲット設計：新型回転陰極ターゲット及び平面陰極ターゲットを採用する。

電源構成：大電力中間周波マグネトロンスパッタリング電源を搭載

伝動システム：ローラー伝動、周波数変換可調、誘導式チャンバドアオープンシステム。

真空システム：拡散ポンプ（分子ポンプ）＋ルーツポンプ＋機械ポンプ＋深冷ポンプ

コーティング可能なガラスまたは平板、サイズカスタマイズ可能

生産ラインの取り付けはプラグバルブを用いてチャンバの遮断を行い、有効な遮断を実現し、プロセスガスを安定させることができる。

生産ラインは均一気管進入構造設計を採用し、気流注入は均一で緩やかである、

電気制御：生産ラインはPLC全過程制御を採用し、高速なタクト生産、工業コンピュータ表示システムを搭載する。

人間と機械の対話：制御システムは人間と機械の対話を実現でき、適時に生産過程に必要な介入を行う。運転過程にはアラームメッセージと故障表示があり、故障表示は操作者の正しい操作と事故の排除を促すことができる。

その他の技術パラメータ：

極限真空：3.0×10-2Pa

水圧流速≧0.2 Mpa 3 m 3/h、水温≦25℃、気圧：0.4-0.8 Mpa、

一般仕様：W 1200 mm*L 2000 mm（単室）W 1500 mm*L 2400 mm（単室）

真空チャンバの寸法または設備の配置は、お客様の製品および特殊な技術要求に応じてカスタマイズすることができます

適用＃テキヨウ＃

馳誠CCZK-SFLシリーズ連続めっきラインは主に大平板ガラス、カーテンウォールガラス、低放射ガラス（LOW-Eガラス）などの大平面製品の連続式めっき、金属単層膜、合金膜または金属化合物膜をめっきすることができる。大面積アルミニウムレンズめっき、ミラーめっき及び大面積スパッタリングめっきの需要を行うことができる。

詳細についてはエンジニアリング担当者にお問い合わせください

サンプル図